興福電子新建4萬噸電子級硫酸產(chǎn)線品質(zhì)取得新突破
- 發(fā)表時間:2022-10-18
電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸,是一種微電子技術(shù)發(fā)展過程中不可缺少的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路領(lǐng)域。高品質(zhì)電子級硫酸制備的關(guān)鍵技術(shù)長期被美國、德國和日本等國家壟斷,我國長期依賴進(jìn)口,隨著國內(nèi)28nm及以下先進(jìn)制程的量產(chǎn),進(jìn)一步加劇超高品質(zhì)電子級硫酸短缺的局面,嚴(yán)重影響我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展。
興福電子自2017年第一套電子級硫酸生產(chǎn)線建成以來,圍繞電子級硫酸生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用領(lǐng)域,通過5年的工藝創(chuàng)新及技術(shù)攻關(guān),已掌握超高純電子級硫酸制備和微納顆粒脫除等系列關(guān)鍵技術(shù),可穩(wěn)定生產(chǎn)供應(yīng)G5等級的電子級硫酸產(chǎn)品。
據(jù)了解,此前,興福電子已在國內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)28nm及以下先進(jìn)制程用超高純電子級硫酸批量生產(chǎn),成功供應(yīng)國內(nèi)外知名半導(dǎo)體企業(yè),打破了國際壟斷。4萬噸電子級硫酸產(chǎn)線正式投產(chǎn)后,興福電子將擁有
6萬噸/年電子級硫酸產(chǎn)能,成為目前國內(nèi)產(chǎn)能規(guī)模最大的電子級硫酸生產(chǎn)企業(yè)。
此外,該公司還擁有電子級磷酸、功能性配方化學(xué)品等多品類濕電子化學(xué)品,其自主開發(fā)的電子級磷酸產(chǎn)品同樣打破了國際壟斷。據(jù)介紹,經(jīng)過十余年的技術(shù)革新,目前公司電子級磷酸產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)Fe等金屬離子達(dá)到3ppb以內(nèi),并成功應(yīng)用于國際先進(jìn)的芯片產(chǎn)線。據(jù)初步估算,該公司電子級磷酸產(chǎn)品國內(nèi)市場占有率超60%,并大量出口海外客戶。與此同時,該公司的硅蝕刻液,金屬蝕刻液、BOE蝕刻液、以及清洗液等功能性配方化學(xué)品,產(chǎn)品品質(zhì)達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平,并且穩(wěn)定供應(yīng)國內(nèi)外知名芯片企業(yè)。近年來,該公司致力于打造國際一流的芯片用電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)基地,持續(xù)加強(qiáng)電子化學(xué)品 核心技術(shù)的開發(fā)升級和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,已成長為國內(nèi)濕電子化學(xué)品行業(yè)頭部企業(yè)。